半導体製造装置 中国市場、大きく成長
半導体材料のシリコンウエハー(基板)などに微細な電子回路を作る装置。様々な電気的な性質を持つ薄膜を形成したり、その一部を削ったりして作る。膜を作る成膜装置や回路パターンを転写する露光装置などがある。世界市場では米アプライドマテリアルズが最大手。日本メーカーとしては東京エレクトロンなどが成膜装置を、キヤノンやニコンは露光装置を手がける。
業界団体のSEMIは2016年の世界市場を369億ドル(約3...
この記事は会員限定です。登録すると続きをお読みいただけます。
残り227文字